中芯國際臨港12英寸晶圓代工生産線項目自(zì)控系統工程
中芯國際臨港12英寸晶圓代工生産線項目選址于臨港新片區書院鎮,占地(dì)892.5畝,是中芯國際在上海首家按照Twin Fab方式,建造的(de)超大邏輯芯片代工生産廠房。項目規劃建設每月20萬片的(de)12英寸晶圓代工生産線。
一(yī)期項目總投資額88.66億美元。
主要涉及系統:低(dī)溫冷凍水系統、中溫冷凍水系統、冷卻水系統、熱回收水系統、鍋爐熱水系統、柴油系統、一(yī)般空調系統、給排水系統、FCU集控系統、FMCS等系統,共計13000多點的(de)控